液體顆粒計數(shù)器在濕電子化學(xué)品等級判定中的應(yīng)用

1、概念：濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺灣地區(qū)的稱呼（更為普遍），國際上又稱工藝化學(xué)品，我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑。

2、應(yīng)用：濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、平板顯示、太陽能電池、晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純，對生產(chǎn)、包裝、運輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求。

3、目的：濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小，越是可以應(yīng)用于更為先進的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度"。液體顆粒計數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級，以便對應(yīng)的企業(yè)采購對應(yīng)級別的產(chǎn)品。

4、檢測儀器：PMT-2 液體顆粒計數(shù)器，防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可

對鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進行顆粒檢測。有0.1、0.2、0.5三個檢測段的傳感器供選擇。

5、試劑：單酸堿、混合液、溶劑類。

6、檢測過程：取一定量溶液；用PMT-2液體顆粒計數(shù)器對液樣進行檢測，將檢測結(jié)果對照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表，來判定溶液的級別。見下表：

7、結(jié)論：目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達到G1等級；顯示面板領(lǐng)域一般要求達到G2、G3等級；集成電路領(lǐng)域，8英寸及以下晶圓要求達到G3、G4水平，12英寸晶圓需要達到G5等級。國際上制備G1到G5級濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟，國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達到國際G3標(biāo)準(zhǔn)，并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。